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2019年7月31日
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HIWIN EFEM(Equipment Front End Module)为半导体晶圆移载系统，透过整合洁净机器手臂，可实现低微粒尘产生。EFEM拥有高整合式设计，可对应客户不同需求，应用于相关制程中，并且确保在生产设备和制程上更有效率，更有竞争力。#半导体设备 #EFEM #HIWIN #上银科技
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2022年11月9日
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